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苏州列克勤硅片回收加工的流程详解

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所在地: 江苏苏州苏州市
最后更新: 2017-09-27
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稀有金属硅片回收工艺流程具体介绍如下: 切片:将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水淋,在切片过程中有不一样的结果,主要是大小问题,产生废水和硅渣。退火:双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至300~500℃,硅片表面和氧气发生反应,使硅片表面形成二氧化硅保护层。 倒角:将退火的硅片进行修整成圆弧形,防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。

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